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万级半导体净化车间
项目日期:

  净化室亦称为无尘室或清净室,洁净室,净化车间。净化室是指将来定空间范围内这空气中的有害微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪声振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化室最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度和温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化室。

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